В нидерландской компании ASML рассматривают выпуск специальной версии сканеров для полупроводниковой DUV-литографии, предназначенных специально для поставок в Китай. Такие искусственно «ухудшенные» инструменты будут соответствовать новейшим ограничениям США и могут поставляться в Поднебесную без специальной экспортной лицензии.
Источник изображения: ASML
Если проект будет реализован, SMIC, Hua Hong и другие китайские компании, занимающиеся выпуском полупроводников, смогут по-прежнему использовать оборудование из Нидерландов для выпуска чипов в соответствии с 28-нм и более «зрелыми» техпроцессами. При этом оборудование не позволит выпускать более современные чипы.
В частности, речь идёт о литографической системе Twinscan NXT:1980Di — сегодня это наименее эффективная модель компании в линейке, выпускаемой ASML. Тем не менее, система поддерживает числовую апертуру оптики NA 1.35 и обеспечивает разрешение <38 нм. Этого, в частности, достаточно для выпуска 7-нм и даже более современных полупроводников. Фактически, сканер, представленный ещё в 2016 году, использовался TSMC для разработки 7-нм техпроцесса.
Искусственное ухудшение характеристик оборудования для предотвращения выпуска SMIC и прочими китайскими компаниями чипов до 28 нм вполне возможно. При этом львиную долю выручки SMIC получает от продажи чипов, выпущенных в соответствии с техпроцессами от 28 нм и выше, поэтому китайские компании вполне могут быть заинтересованы в приобретении у ASML даже таких инструментов.
Новейшие экспортные ограничения, введённые США, предписывают американским компаниям и физическим лицам получать специальные экспортные лицензии для поставок инструментов и технологий, способных выпускать чипы с непланарными (трёхмерными) транзисторами в соответствии с 14/16-нм и более современными техпроцессами, 3D NAND-память со 128 и более слоями и DRAM-память в соответствии с техпроцессами до 18 нм. Те же ограничения касаются и неамериканских бизнесов, использующих компоненты из США, в частности, речь идёт о Twinscan NXT:1980Di компании ASML.
Новейшие экспортные правила Нидерландов предписывают ASML получать экспортные лицензии для поставки сканеров Twinscan NXT:2000i китайским производителям. Хотя ASML ещё не выпускала версию оборудования с ограниченными возможностями, если экспортные ограничения будут ужесточаться и дальше, производство таких вариантов вполне вероятно.