Applied Materials придумала травление под углом: тонкие техпроцессы с EUV-литографией станут проще

Компания Applied Materials представила установку Centura Sculpta для уникальной обработки кремниевых пластин. За счёт направления реагентов травления под углом открылась возможность более плотного изготовления элементов на пластинах без двойной экспозиции. Это поможет заметно удешевить процесс изготовления транзисторов с использованием EUV-литографии за счёт экономии времени, материалов и благодаря снижению уровня брака.

Источник изображения: Applied Materials

Сегодня для создания самых мелких элементов на пластинах по очереди используется две экспозиции EUV-сканером с последовательной сменой двух фотошаблонов. Одной сфокусированной точки луча с длиной волны 13,2 нм очевидно недостаточно для создания рисунка в техпроцессе с нормами менее 12 нм. Помимо того, что шаблоны надо заменить и очень тщательно выровнять, каждый раз пластину необходимо очистить от продуктов предыдущей экспозиции и травления со всеми сопутствующими шагами по обработке. Всего этого можно было бы избежать, если бы проекция была только одна с использованием одного шаблона на слой.

Компания Applied Materials нашла решение, которое позволяет вместо двух фотошаблонов использовать один и при этом не потерять в плотности размещения элементов и в их точности, включая ровность краёв.

Установка Centura Sculpta Applied Materials производит травление под углом. Сначала пластина обрабатывается проходом системы травления с одного направления, а затем это повторяется с поворотом пластины на 180 градусов. Первоначально протравленные «точки», размещённые с большим зазором, превращаются в «эллипсы» с сокращением зазоров до минимально допустимого расстояния. В процессе используется только один шаблон, тогда как сегодня для создания структуры с таким же разрешением необходимо два фотошаблона и два этапа по обработке пластин после каждой проекции.

По подсчётам Applied Materials, установка Centura Sculpta каждый месяц экономит около $250 млн капитальных затрат на обработку 100 тыс. пластин. Производственные затраты экономятся примерно на $50 за пластину. Также это экономит электричество в объёме примерно 15 кВт·ч на пластину. Воды экономится около 15 литров на пластину. Наконец, происходит прямое сокращение выбросов парниковых газов более чем на 0,35 кг CO₂-эквивалента на пластину. В масштабах индустрии речь идёт о колоссальной экономии, которая нужна всем: и производителям, и потребителям.