Сегодня 26 декабря 2024
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

В Японии значительно упростили EUV-сканер, что может резко удешевить производство передовых чипов

Профессор Цумору Шинтаке (Tsumoru Shintake) из Окинавского института науки и технологий (OIST) разработал существенно упрощённый инструмент для EUV-литографии, который значительно дешевле сканеров производства ASML. Предложенная им литографическая система использует два зеркала вместо шести. Если устройство поступит в массовое производство, оно может изменить отрасль оборудования для производства чипов, если не всю полупроводниковую промышленность.

 Источник изображения: Samsung

Источник изображения: Samsung

Новая система использует в своей оптической проекционной установке только два зеркала, что значительно отличается от традиционной конфигурации из шести зеркал. Новый укороченный оптический путь позволяет более 10 % начальной EUV-энергии достигать пластины по сравнению с примерно 1 % в используемых в настоящее время установках, что является серьёзным прорывом.

Команда профессора Шинтаке решила две основные проблемы в EUV-литографии: предотвращение оптических аберраций и обеспечение эффективной передачи света. Разработанный ими метод «двойного линейного поля» экспонирует фотошаблон, сводя к минимуму искажения и повышая точность изображения на кремниевой пластине.

 Источник изображения: OIST

Источник изображения: OIST

Одним из ключевых преимуществ предложенного решения является повышенная надёжность и простота обслуживания оборудования. Не менее существенным достоинством этой конструкции стало радикальное снижение энергопотребления. Благодаря оптимизированному оптическому пути система использует источник EUV-излучения мощностью всего 20 Вт, а общее энергопотребление составляет менее 100 кВт, что на порядок ниже, чем потребность традиционных систем EUV-литографии. Благодаря сниженному энергопотреблению также упрощается и удешевляется система охлаждения.

Производительность новой системы была тщательно проверена с использованием программного обеспечения для оптического моделирования, подтвердив её способность производить передовые полупроводники. Учёные подали заявку на патент, что свидетельствует о готовности новой технологии к коммерческому внедрению. Разработчики рассматривают новую систему EUV-литографии как важный шаг к снижению энергопотребления и других затрат на производство микросхем, но конкретные сроки начала коммерческой эксплуатации нового сканера пока не называются.

Экономические последствия изобретения весьма многообещающие. Ожидается, что мировой рынок EUV-литографии вырастет с $8,9 млрд в 2024 году до $17,4 млрд к 2030 году.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Вечерний 3DNews
Каждый будний вечер мы рассылаем сводку новостей без белиберды и рекламы. Две минуты на чтение — и вы в курсе главных событий.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Google применила конкурирующего ИИ-бота Anthropic Claude для улучшения своих нейросетей Gemini 5 мин.
Apple призналась, что выполняет требования российского законодательства 37 мин.
Платформер Restitched отправит исследовать и создавать красочные миры — геймплейный трейлер духовного наследника LittleBigPlanet 2 ч.
Apple объяснила, почему не хочет создавать собственный поисковик на замену Google 2 ч.
«Не думаю, что Nintendo это стерпит, но я очень рад»: разработчик Star Fox 64 одобрил фанатский порт культовой игры на ПК 12 ч.
Корейцы натравят ИИ на пиратские кинотеатры по всему миру 13 ч.
В Epic Games Store стартовала новая раздача Control — для тех, кто дважды не успел забрать в 2021 году 16 ч.
За 2024 год в Steam вышло на 30 % больше игр, чем за прошлый — это новый рекорд 17 ч.
«Яндекс» закрыл почти все международные стартапы в сфере ИИ 17 ч.
Создатели Escape from Tarkov приступили к тестированию временного решения проблем с подключением у игроков из России — некоторым уже помогло 18 ч.
Пример Tesla заразителен: китайский производитель электромобилей Li Auto начнёт выпускать человекоподобных роботов 4 мин.
Apple намерена полностью разорвать отношения с Nvidia 10 мин.
Во флагманских смартфонах Huawei Mate 70 нашли память SK hynix, которой там быть не должно 2 ч.
Чтобы решить проблемы с выпуском HBM, компания Samsung занялась перестройкой цепочек поставок материалов и оборудования 5 ч.
Новая статья: Обзор и тест материнской платы Colorful iGame Z790D5 Ultra V20 10 ч.
Новая статья: NGFW по-русски: знакомство с межсетевым экраном UserGate C150 12 ч.
Криптоиндустрия замерла в ожидании от Трампа выполнения предвыборных обещаний 12 ч.
Открыт метастабильный материал для будущих систем хранения данных — он меняет магнитные свойства под действием света 14 ч.
Новый год россияне встретят под «чёрной» Луной — эзотерика ни при чём 17 ч.
ASRock выпустит 14 моделей Socket AM5-материнских плат на чипсете AMD B850 17 ч.